Создатели российской атомной бомбы построят суверенные установки для выпуска чипов
Разработчик первой советской атомной бомбы создаст установки для соединения и разделения полупроводниковых пластин за 992,85 млн рублей.
Установка для чипов
Как выяснил CNews, победителем конкурса Минпромторга на создание установок бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин стал Российский федеральный ядерный центр (РФЯЦ-ВНИИЭФ, входящий в «Росатом»). Это следует из записи на портале госзакупок.
Контракт на ОКР шифр «Дантист» был заключен 6 июля 2026 г. Сумма его составила 992,85 млн руб., столько же и выделялось на конкрус. Падения в цене не произошло. Так как по итогам конкурса была подана только одна заявка.
Оборудование должно быть разработано к 30 октября 2029 г.
Что предстоит сделать
Речь идет о разработке и изготовлении опытного образца установки бондинга для временного соединения полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм и установки дебондинга и очистки кремниевых пластин. Оборудование предназначено для работы с пластинами диаметром 100, 150 и 200 мм.
Бондинг — это процесс временного соединения полупроводниковой пластины с пластиной-носителем для её обработки и транспортировки, дебондинг — разделение пластин и удаление остатков адгезива после завершения технологических операций.
Установки должны заменить австрийское оборудование EV Group (EVG®510 и EVG®850 DB) и немецкое SUSS MicroTec (XBS300 и XBC300 Gen2).
Критические комплектующие: контроллеры на базе отечественных микропроцессоров, платы управления на отечественных микроконтроллерах и ПЛИС, вакуумные системы, механизмы загрузки-выгрузки пластин, программное обеспечение — должны быть российского производства.
Чем известен РФЯЦ-ВНИИЭФ
ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ» расположен в городе Саров Нижегородской области. Он входит в структуру госкорпорации «Росатом».
Институт основан в 1946 г. и является крупнейшим в стране научно-исследовательским центром, решающим задачи оборонного, научного и народнохозяйственного значения. Именно здесь были разработаны первые отечественные атомная и водородная бомбы.
Сегодня РФЯЦ-ВНИИЭФ активно развивает компетенции в области микроэлектроники. В его составе — несколько институтов, включая Институт лазерно-физических исследований и Институт теоретической и математической физики.